Датчик давления - это своего рода датчик давления, который можно использовать в стали, химических и других полях для измерения давления и может реализовать автоматическое управление давлением при использовании вместе с регулятором давления.
Диффузионный датчик давления кремния /введение в принцип
Diffusion silicon pressure sensor is based on the principle of piezoresistive effect, using integrated process technology through doping and diffusion, along the characteristic crystal direction on the single crystal silicon wafer, to form a strain resistance to form a Wheatstone bridge.Using the elastic mechanical properties of silicon material, anisotropic micromachining is performed on the same silicon material, and a diffused silicon sensor integrating Производительное определение силового электрического преобразования изготовлено.
Давление диффузированного датчика давления кремния действует непосредственно на диафрагму датчика (нержавеющая сталь или керамика), вызывая диафрагму для получения микросмешивания, пропорционального давлению среды, и значение сопротивления изменений датчика. Электронная цепь обнаруживает это изменение и преобразует его. Стандартным сигналом измерения, соответствующим этому давлению, является выход.
Диффузионные функции датчика давления кремния
1. Подходит для изготовления мелких передатчиков
Пьезорезистивный эффект чувствительного к силе резистора кремниевого чипа не имеет мертвой зоны в низком диапазоне вблизи нулевой точки, а диапазон датчика давления может быть таким же небольшим, как несколько кПа.
2. Высокая выходная чувствительность
Коэффициент чувствительности резистентности кремния кремния в 50-100 раз выше, чем у индикатора металла, поэтому чувствительность соответствующего датчика очень высока, а выходной сигнал диапазона составляет около 100 мВ. Следовательно, нет особых требований к цепи интерфейса, и ее удобнее использовать.
3. Высокая точность
Поскольку зондирование, чувствительное преобразование и обнаружение датчика реализуются одним и тем же компонентом, нет промежуточного канала преобразования, а ошибки повторяемости и гистерезиса невелики. Поскольку сам монокристаллический кремний имеет высокую жесткость и небольшую деформацию, обеспечивается хорошая линейность.
4. Поскольку унисексуальная деформация работы настолько же низка, как и порядок микро-деформации, максимальное смещение упругого чипа находится в порядке субмикрона, поэтому нет износа, нет усталости, отсутствия старения, а продолжительность жизни составляет до 1 × 107 цикла давления, со стабильной производительностью и высокой надежностью.
5. Из-за превосходной химической коррозионной устойчивости кремния даже неизолированные диффузированные датчики давления кремния имеют возможность адаптироваться к различным средам в значительной степени.
6. Поскольку чип принимает интегрированный процесс и не имеет компонентов передачи, он небольшой по размеру и свету по весу.
Диффузионные меры предосторожности датчика давления кремния для использования
1. Когда выбирается чрезмерный диапазон или нижний диапазон, амплитуда должна контролироваться в пределах ± 30%FS.
2. Режим давления делится на давление на давление, абсолютное давление и герметизирующее давление, которое можно выбрать разумно в соответствии с потребностями.
3. Подтвердите максимальную перегрузку системы. Максимальная перегрузка системы должна быть меньше, чем предел защиты от перегрузки датчика, в противном случае это повлияет на срок службы продукта и даже повредит продукту.
4. Не касайтесь диафрагмы какими -либо жесткими объектами, в противном случае это приведет к разрыву диафрагмы.
5. Материал и процесс изготовления отрицательного ядра давления не совпадают с положительным давлением, поэтому отрицательное ядро давления не может быть заменено ядром давления.
6. Проверьте тщательно проверку инструкции перед установкой, чтобы избежать повреждения продукта, вызванного неправильной установкой.
7. Использование использования может привести к опасности и травмам.
8. Ядро вытягивается из корпуса, и запрещено тянуть провода и ноги трубки.
Применение датчика давления диффузии кремния
Диффузионные датчики давления кремния в основном используются в системах управления процессами, инструментами калибровки давления, гидравлическим системам, биомедицинским приборам, гидравлическим системам и клапанам, измерению уровня жидкости, оборудованию для охлаждения и управляемой отраслях HVAC. Можно сказать, что все отрасли с высокими требованиями к автоматизации могут использовать диффузированные датчики давления кремния.
Время сообщения: 15-2022 августа