Пьезорезизитивные датчики давленияв основном основаны на пьезорезистивном эффекте. Пьезорезистивный эффект используется для описания изменения сопротивления материала при механическом напряжении. В отличие от пьезоэлектрического эффекта, пьезорезистительный эффект только создает изменение импеданса, а не электрический заряд.
Пьезорезистивные эффекты были обнаружены в большинстве металлических и полупроводниковых материалов. В условиях их пьезорезистивного эффекта в полупроводниковых материалах намного больше, чем у металлов. Поскольку кремний является основой сегодняшних интегрированных цепей, применение пьезорезийных элементов, произведенных из кремниза Сопротивление самого материала, который делает его фактор степени в сотни раз больше раз больше, чем у металлов. Изменение сопротивления кремния N-типа в основном обусловлено перераспределением носителей между долинами полосы проводимости различных подвижений, вызванных смещением его трех доли valley.in p-типа кремния, это явление становится более сложным, а также приводит к эквивалентному изменению массы и преобразованию отверстий.
Пьезорезистивные датчики давления, как правило, соединены с мостом Wheatstone через свинцы. Обычно не существует внешнего давления на чувствительное ядро, а мост находится в сбалансированном состоянии (называемое нулевым положением). Когда датчик оказывается под давлением, изменяется сопротивление чипа, а мост потеряет свой баланс. Если к мосту добавляется постоянный ток или источник питания напряжения, мост выведет сигнал напряжения, соответствующий давлению, так что изменение сопротивления датчика преобразуется в выходной сигнал давления через мост. Мост обнаруживает изменение значения сопротивления, и после усиления, он обращается в соответствии с оборотом. Сигнал тока компенсируется нелинейным циклом коррекции, то есть стандартным выходным сигналом 4-20 мА с генерируется входное напряжение, имеющее линейное соответствующее соотношение.
Чтобы уменьшить влияние изменения температуры на значение сопротивления сердечника и повысить точность измерения, датчик давления принимает меры температурной компенсации для поддержания высокого уровня технических показателей, таких как нулевой дрейф, чувствительность, линейность и стабильность.
Пост времени: апрель-03-2022